深圳稳顶聚芯首台高精度步进式光刻机顺利出厂

2025年9月23日，深圳稳顶聚芯技术有限公司宣布其自主研发的首台国产高精度步进式光刻机（WS180i系列）顺利出厂，主要应用于Mini/Micro LED光电器件、光芯片、功率器件等化合物半导体领域。

据悉，此次出厂的步进式光刻机属于WS180i系列。该系列产品主要面向mini/micro LED光电器件、光芯片、功率器件等化合物半导体领域，能够灵活适配硅片、蓝宝石、SiC等不同衬底材料，满足多样化的胶厚光刻工艺需求。

公开资料显示，深圳稳顶聚芯技术有限公司是一家专注于半导体芯片制造装备研发的高科技企业，成立于2023年，公司产品聚焦于半导体工艺制程装备开发与制造，还拥有套刻及关键尺寸光学量测设备、超精密光学成像质量评价系统等多种相关设备。